LEYBOLD真空計的分類知識概況
2020-03-13
LEYBOLD真空計的真空技術已經能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩定、高質量的生產和工藝，必須采用精確的測量和控制儀器來檢測與調整所需要的工作壓強。
真空計是按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
一、按真空度刻度方法的分類
1.真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
2.相對真空計：由一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管（或規頭）和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。
二、按真空計測量原理分類
1.直接測量真空計
這種真空計直接測量單位面積上的力：
（1）靜態液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力；
（2）彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。
2.間接測量真空計
壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。
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